设备共享 - 杭州AI科技日报

半导体研发设备共享需求主要源于设备购置成本高、技术更新快及中小企业和科研团队资源有限等问题，通过搭建共享平台，整合高校、科研院所及企业的闲置设备，可满足材料表征、工艺验证、芯片测试等研发需求，提高设备利用率，降低创新成本，共享机制需重点完善设备预约、操作培训、维护管理、费用结算及知识产权保护，保障服…